SiTime SiT8008 - MEMS генератор : фото выходного дня

SiTime SiT8008 - программируемый MEMS генератор, способный сравниться по точности с кварцевым, обладающий при этом бОльшей надежностью и меньшей g-sensitivity. Кстати, SiTime - одна из компаний, в которую вложила деньги Роснано.

Фотография MEMS кристалла по началу нас довольно сильно озадачила. Неужели это какой-то интегральный SAW/STW резонатор?

Хитрость состоит в том, что максимальный Q-фактор (до ~186тыс судя по патенту) достигается когда механический резонатор работает в вакууме. Поэтому сам MEMS-резонатор запаян внутри кристалла в атмосфере водорода. Затем кристалл отжигают в вакууме - и водород улетает сквозь кремний. Так что тут мы видим лишь крышку MEMS резонатора с контактами. Добраться до самого резонатора без рентгеновской камеры или ионной резки пока не удалось.

Размер кристалла MEMS - 457x454 µm.

Для нашего удобства релевантные патенты указаны прямо на кристалле : US6936491 US7514283 US7075160 US7750758 :)



Цифровой кристалл - содержит LC PLL и цифровую логику для однократного программирования частоты и температурной коррекции.
Размер кристалла - 1409x1572 µm.



После травления металлизации:


Стандартные ячейки - технология уровня 250нм.