Invensense MPU6050 6-axis MEMS IMU : фото выходного дня

MEMS-ы - определенного побеждают по частоте запросов на вскрытие. Год назад мы уже безуспешно пытались отснять MPU6050. Настало время мести!

Invensense MPU6050 - комбинированный 16-и битный акселерометр и гироскоп. Внутри содержит 2 кристалла, спаянные/сваренные лицом-к-лицу во множестве мест (что и создало нам массу проблем в прошлый раз, требуемая температура для разделения кристаллов превысила 600С).



На общей фотографии уже можно заметить, насколько неровная поверхность кристаллов. На большом кристалле - MEMS на 28 микрон над поверхностью, на маленьком - на 100 микрон. На большом кристалле - прямо под MEMS расположена логика.


Размер большого кристалла 2782x2718 µm, малого - 2778x2195 µm.


Малый кристалл, фокус на верхнем слое. Ширина самых маленьких зубцов - 1µm.
Эти зубцы позволяют определять их сдвиг по изменению емкости между электродами.


Малый кристалл, фокус на нижнем слое:


Большой кристалл:


Ниже MEMS на большом кристалле можно найти обычную цифровую логику с полушагом ~250nm.

SRAM, площадь ячейки 10.13 µm²:


Логика на стандартных ячейках: