23 Декабря 2013

1645РТ2У - рад.стойкая ПЗУ Миландра : фото выходного дня

1645РТ2У - рад.стойкая 32k*8 antifuse ПЗУ, разработанная Миландром. Размер кристалла - 8232x8973 µm.
Минимальный наблюдаемый half-pitch - 680nm.



После травления металлизации:


Отдельно блок ячеек памяти. Площадь одной ячейки памяти - 91.8 µm2.

Память antifuse - работает по принципу пробития тонкого слоя диэлектрика высоким напряжением (в данном случае 17В). Зеленые "квадратики" - транзисторы доступа. Выше/ниже их - в красном прямоугольнике - собственно ячейка памяти. В центре её - овальная область, где толщина диэлектрика уменьшается, и пробой происходит где-то в пределах этой овальной области.



Под электронным микроскопом Hitachi TM3030: